能大限度发挥燃料电池发电效率的高精度MEMS流量传感器

  作为减轻环境负担的新一代燃料电池系统零部件，MEMS流量传感器发挥着重要的作用。燃料电池的原理就是将城市燃气中含有的氢气与氧气混合在一起，产生化学反应进行发电。为了尽量提高发电效率，需要使氢气与氧气在佳混合比率的情况下进行燃烧。为了达到这一目的，需要发挥MEMS流量传感器的高精度测试技术。

  欧姆龙采用的超细微加工技术，开发了装配有流速检测元件的MEMS流量传感器。拥有引以为傲的世界别灵敏度，甚到是1毫米/秒的气体流速变化也能精确检测。随着燃料电池的普及，对欧姆龙小型、高性能MEMS流量传感器用途的期待也不断高涨。
 

  气体流量检测技术

  应用气体流量检测技术，检测仅为1毫米/秒的气体流量

  为了检测微量的流速，就需要缩小装在MEMS流量传感器检测部位的MEMS流量传感器芯片。通过充分发挥欧姆龙的高精度加工技术，创造出世界小尺寸(1.55毫米x1.55毫米，厚0.4毫米)的芯片。其测试原理如图所示，在没有气体流动的情况下以加热器为中心，温度分布左右对称;如有气体流动，加热器排出的风的上方就会变冷，风的下方就会变热，从而导致温度失衡。此温度差作为两个热电偶的电动势差，可用于检测流速及流量。

  另外，通过应用欧姆龙的蚀刻技术等，即使是这种超精细的MEMS，也能高精度地实现质量稳定的大批量生产。凭借这种高度的MEMS生产性，欧姆龙大幅度降低了产品成本，从而不仅在燃料电池方面，还可广泛应用于检测精密设备的空冷状态等各种领域。